變壓器BOX

W510XD650XH515(mm) ? ? ? 不包括突出部分

估計重量 120Kg

真空泵（MU100P）

W275XD580XH360（mm） ? ? ? 不包括突出部分

估計重量 65Kg

冷水機（CF800G）

W350XD630X840（mm） ? ? ? 不包括突出部分

估計重量 55Kg

電源

3φ AC380V 50Hz 13.2kVA（斷路器容量20A）

性能保證電源電壓波動±5%

操作保證電源電壓波動±10%

實際容量

3φ AC380V 13A±10%

初級電源變壓器BOX電源線連接

Drive AIR

連接直徑φ6一鍵式接頭

0.5MPa以上 50NL/min以上

吹掃空氣

連接直徑φ6一鍵式接頭

0.5MPa以上 60NL/min以上

N2（用于真空泵）

連接直徑1/4管件

0.1-0.7MPa 45NL/分鐘

冷卻水（用于真空泵）

連接口Rc1/4（帶ParKer自密封耦合器）

最大供給壓力 0.5MPa ?G（表壓）（0.2-0.5MPa）

流量2-3L/min

溫度10-25℃

CF800G冷水機冷卻水循環(huán)

排氣（真空泵用）

連接口φ50風道（由泵側NW25改成設備側φ50風道）

真空保持能力

抽真空至13Pa后，關閉主閥保持

保持27Pa-53Pa 10分鐘

腔室

鋁氧化鋁處理（白色）

腔體內(nèi)部結構

鋁防蝕處理（白色）

腔室密封

氟基 O 形圈

腔室開/關機構

手動開/關

通過氣體阻尼器的打開維護和打開/關閉輔助

用肘節(jié)夾關閉時的輔助

具有箱蓋聯(lián)鎖功能

配管材質(zhì)

不銹鋼材質(zhì)

吹掃過濾器

清潔管路過濾器 FCS500 型 CKD

吹掃空氣流量計

最大刻度60L/min 模擬型

吹掃空氣調(diào)節(jié)器

調(diào)節(jié)器 10 系列（兼容清潔）SMC

吹掃用電磁閥

2通電磁閥（N、C）XSA系列SMC

真空閥

高真空L型閥（2級控制/單動）XLD-40 SMC

大氣釋放閥（手動）

無

真空計

GP-1000G/手寫筆WP-16 ULVAC

大氣壓力傳感器

壓力開關ZSE80系列SMC

驅(qū)動空氣調(diào)節(jié)器

調(diào)節(jié)器10系列（清潔兼容）SMC

壓力表（吹掃/驅(qū)動）

模擬型

工作支撐

支撐銷（排列、排列等見示意圖）

支撐銷材質(zhì)為 PEEK

腳輪

安裝了 4 個輪子的重型腳輪自由腳輪

調(diào)節(jié)器

4?安裝

真空泵

干泵MU100P型Kashiyama Industries

冷水機

外密封循環(huán)CF800G型大和科學

外觀顏色

白色（我們的標準顏色），烤漆

Nikko 75-90A (孟塞爾值5PB9 / 0.5)

腳輪

安裝在帶調(diào)節(jié)器的腳輪上的 4 個輪子