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Diener 等離子表面處理儀 Tetra150

簡(jiǎn)要描述：Diener 等離子表面處理儀 Tetra150特點(diǎn)
·便捷的觸摸屏操作界面

·數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示方式

·異常報(bào)警功能

·自動(dòng)/手動(dòng)操作模式可切換

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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)林牧漁	工藝氣體	O2 Ar N2 Air SF6 CF4
流量計(jì)	MFC /防腐型MFC	不銹鋼真空腔體	W400xD625xH625/150L
鋁合金真空腔體	W400xD625xH625/150L	外形尺寸WDH（mm)	600x850x1700(2100)
電源	AC400 V / 16 A

Diener 等離子表面處理儀 Tetra150

特點(diǎn)

·便捷的觸摸屏操作界面

·數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示方式

·異常報(bào)警功能

·自動(dòng)/手動(dòng)操作模式可切換

·儲(chǔ)存多套工藝程序

·遠(yuǎn)程操控，數(shù)據(jù)導(dǎo)出

·模塊多樣化選擇，多層托盤可選，處理量大

型號(hào)		Tetra 150
控制系統(tǒng)	控制方式	全自動(dòng)控制（自動(dòng)/手動(dòng)切換）
	控制方式	BASIC PC	FULL PC
	操作系統(tǒng)	Windows CE	Windows 10
	觸摸屏	3.5/7”	15”
工藝氣體		O2 Ar N2 Air SF6 CF4
工藝氣路		1-3（可選）	1-10（可選）
流量計(jì)		MFC /防腐型MFC
真空腔體		不銹鋼W400xD625xH625/150L 鋁合金W400xD625xH625/150L
電極	材質(zhì)	鋁/不銹鋼電極
電極	層數(shù)	1-12（可選） 1-2層 1-5層
真空壓力計(jì)（mba)		皮拉尼傳感器（0-9.99)
發(fā)生器		40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W
托盤	不銹鋼/鋁	實(shí)板/鏤空
托盤	層數(shù)	1-12（可選）
外形尺寸WDH（mm)		600x850x1700(2100)
電源		AC400 V / 16 A
真空泵抽氣速度		根據(jù)工藝選擇
選配件		單體導(dǎo)入模塊、遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)、防腐系統(tǒng)、氣浴、托盤/腔體冷卻系統(tǒng)、加熱模塊、RIE電極（刻蝕）、石英舟、干泵

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