亚洲诱惑,亚洲第一综合网站-亚洲精品,2020最新无码专区,欧美日韩欧美三级视频

您的位置: 首頁 > 技術(shù)文章 > 產(chǎn)品介紹|diener Parylene涂層系統(tǒng)P17了解一下

產(chǎn)品介紹|diener Parylene涂層系統(tǒng)P17了解一下

更新時(shí)間:2023-04-26瀏覽:1315次

一、控制:

Windows PC人機(jī)交互操軟件,多種語言(含中文),用戶密碼登陸管理權(quán)限,工藝二維折線圖實(shí)時(shí)顯示,一鍵回復(fù)原廠設(shè)置,數(shù)據(jù)備份與還原功能,數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)和導(dǎo)入導(dǎo)出功能,可儲(chǔ)存100套工藝參數(shù)

 

二、原料:沉積Parylene N、C、F-VT4型

三、沉積厚度:0.05~30um

四、沉積室直徑300mm,深度300mm

五、轉(zhuǎn)盤直徑250mm,高度280mm,轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速0~100%可調(diào)節(jié)

六、集成硅烷蒸發(fā)模塊,壓力與溫度PID控制,實(shí)現(xiàn)Parylene涂層前硅烷沉積功能,可設(shè)定蒸發(fā)器預(yù)加熱溫度,到達(dá)設(shè)定加熱溫度后,開始硅烷蒸發(fā)程序,同時(shí)通過腔體壓力判斷檢測(cè)硅烷蒸發(fā)量

七、溫度控制系統(tǒng):

1.裝料艙門溫度實(shí)時(shí)顯示設(shè)定范圍:室溫~200°C

2.蒸發(fā)器溫度實(shí)時(shí)顯示設(shè)定范圍:室溫~200°C

3.裂解艙溫度實(shí)時(shí)顯示設(shè)定溫度范圍:室溫~850°C

4.沉積室溫度實(shí)時(shí)顯示設(shè)定溫度范圍: 室溫~200°C

5.硅烷蒸發(fā)器及管道溫度設(shè)定范圍:室溫~200°C

八、真空系統(tǒng):

1.沉積室真空壓力檢測(cè)

2.真空泵壓力檢測(cè)

3.配有慢速抽氣模塊,可以設(shè)定慢速抽真空的時(shí)間;

4.雙級(jí)油式旋片泵,排氣速度60m3/H,極限真空泵小于1*10-3mbar,噪音52bB(A),電源AC230V

九、多重報(bào)警與報(bào)警設(shè)定功能:

1.可設(shè)定蒸發(fā)器壓力最大偏差、門溫度最大偏差、裂解管溫度最大偏差、壓力傳感器溫度最大偏差、腔體溫度最大偏差、硅烷蒸發(fā)器溫度最大偏差、硅烷管路1溫度最大偏差值;

2.保養(yǎng)周期報(bào)警提示;

3.轉(zhuǎn)盤位置錯(cuò)誤報(bào)警;

4.詳細(xì)的報(bào)警描述,方便判斷報(bào)警原因;

十、冷卻方式:

液氮和冷阱頭兩種方式

冷阱頭冷卻方式:風(fēng)冷

冷阱頭低溫度-100°C,冷頭尺寸:直徑50mm, 長(zhǎng)度380mm

RS485通訊模塊,可以與主機(jī)通訊

冷阱尺寸:W600xD550xH1200mm

十一、尺寸與電源

  1. 外形尺寸:W1200xD700xH1100mm(不含真空泵與冷阱)

  2. 電源:AC380V 3P 32A

 

如有需要diener plasma設(shè)備 ,可聯(lián)系上海爾迪儀器科技有限公司


 

Contact Us
  • QQ:3218790381
  • 郵箱:3218790381@qq.com
  • 地址:上海市閔行區(qū)中春路7001號(hào)C座1003室

掃一掃  微信咨詢

©2025 上海爾迪儀器科技有限公司 版權(quán)所有    備案號(hào):滬ICP備19038429號(hào)-5    技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    Sitemap.xml    總訪問量:146832    管理登陸

天天躁日日躁狠狠躁躁欧| 亚洲最大胆美女按摩在线成人| 麻豆你懂的精品视频在线观看免费| 嗯好舒服在线观看| 性色一区二区二区| 精品无码国产自产在线观看老师| 青青捅成人在线| 亚洲日韩欧美二区 | 国产日韩欧美成人视频观看| 99人妻jj| 无码操视频久久| 久久久首页| 日本高清在线一区二区| 欧洲性网站免费在线观看| 美女自慰网站一区二区三区四区| 色综合一区| 又粗又长又猛又硬的黄片| 日本a毛不卡一区| 中文字幕久久成人| 久久久久久亚洲少妇| 午夜福利视频免费在线观看| 日本青青草在线| 精品com国产999| 欧美精美一区久久| 中文字幕中文字幕久久久久久人妻| 侵犯肉丝女秘书一区二区三区| 日韩黄色操屄视频| 深爱婷婷五月四射| 欧美日韩成人综合网| 大香蕉操逼在线观看| 午夜福利www.| 夜夜要天天要人人要| 后入式内射少妇| AV2018成人| 久久99国产永久免费| 天天射天天天天射天天天天射天天射| 在线免费观看小黄片| 天堂a在线地址22最新版| 免费视频在线啪| 日韩欧美精品成人在线| 四虎成人精品免费影院在线播放|